일본이 수출 규제 조치 이후 처음으로 불화수소 수출을 허가한 것으로 알려졌다.

산업통상자원부 관계자는 "오늘 일본이 불화수소가스 수출 1건을 허가한 것을 반도체업계 등을 통해 확인했다"고 밝혔다.

고순도 불화수소와 플루오린 폴리이미드, 포토레지스트 등 반도체 소재 3개 품목은 개별 수출허가 대상으로, 규제 조치 후 일본이 불화수소 수출을 허가한 것은 처음이다.

불화수소는 삼성전자 등 국내 반도체 기업들이 확보에 주력했던 소재로, 반도체 핵심소재인 원판에 회로를 새기는 공정과 불순물 제거를 위한 세정작업 등에 활용된다.